طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس روشی است که از انرژی پرتوی ایکس برای تجزیه و تحلیل ساختاری و تعیین عناصر نمونه ها در مقیاس های کوچک استفاده می کند. با استفاده روش آنالیز EDS می توان آنالیز کیفی و کمی را بر روی طیف وسیعی از نمونه های متالورژیکی، بیولوژیکی، معدنی و سرامیک ها انجام داد. از این روش می توان برای میکروآنالیز استفاده کرد.
شناسایی عناصر با EDS سیستمی است که به همراه میکروسکوپ الکترونی عبوری SEM بوده و در حقیقیت بخشی از این میکروسکوپ به شمار می رود.
کاربردهای آنالیز EDS یا EDAX
- نسبت سیگنال به نویز طیف به طور قابل توجهی بالاتر از نسل قبلی طیف سنج مادون قرمز می باشد.
- خطا بسیار کم است و دقت عدد موجی بالا است.
- زمان اسکن در FTIR بسیارکوتاه تر است.
- رزولوشن بالایی دارد.
- تداخل نورهای مزاحم کم است.