آنالیز XPS یا طیف سنجی فتوالکتریکی پرتو ایکس یک آنالیز دقیق و پیشرفته برای اندازه گیری و تعیین ترکیب شیمیایی و تعیین نوع پیوند در سطح نمونه ها بکار میرود. این آنالیز امکان شناسایی و تعیین مقدار عناصر سطح نمونه (به جز هیدروژن) را می دهد. از آنجایی که خواص سطحی در بسیاری از کاربردها و به خصوص کاربردهای متالورژیکی اهمیت دارد، امروزه انجام این آنالیز که از بسیاری جهات منحصر به فرد است، امتیاز بسیار با اهمیتی در مطالعات منتشر شده در مجلات معتبر دارد.